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潽拓——萊寶分子泵維修，分子泵

    萊寶Leybold turbovac MAG W 3200渦輪分子泵


     TURBOVAC MAG W 3200 C/CT常用于半導(dǎo)體工業(yè)使用的渦輪分子泵。在半導(dǎo)體工業(yè)，渦輪分子泵用于以下應(yīng)用場(chǎng)合：- 蝕刻；- 濺射；- 離子注入；- CVD；- 光刻。這些應(yīng)用中，經(jīng)常需要抽除腐蝕性氣體。需要使用配有吹掃氣體設(shè)備的磁懸浮分子泵，以免軸承損壞。尤其對(duì)于金屬蝕刻，渦輪分子泵的泵內(nèi)可能發(fā)生沉積現(xiàn)象， 選用帶溫度控制的擴(kuò)展附件在MAG 1500 C、MAG 2000 C、MAG2800和MAG 3200可以防止這種情況。與機(jī)械軸承渦輪分子泵相比，磁懸浮泵的優(yōu)勢(shì)在于氣體流量較大時(shí)可以防止軸承過(guò)熱，能夠有效地防止腐蝕性介質(zhì)對(duì)磁懸浮軸承的損壞。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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廣州潽拓光電科技有限公司——萊寶分子泵維修

萊寶真空生產(chǎn)的渦輪分子泵能夠獲得潔凈的高真空和超高真空，具有操作簡(jiǎn)單，可靠性高等特點(diǎn)。

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